vocs廢氣處理設備催化燃燒法是在催化劑的效果下，先將有機廢氣用活性炭吸附，當快到達飽滿時中止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較本來進步幾十倍）并送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。當有機廢氣的濃度到達2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不必外加熱。vocs有機廢氣處理設備使有機廢氣中的碳氫化合物在溫度較低的條件下敏捷氧化成水和二氧化碳，到達管理的意圖。